一、概述

等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。

二、原理介绍

➤什么是等离子体？

等离子体是一种中性、高能量、离子化的气体。其中包括中性原子或分子、电子、活性基团、激发态的核素、光子等。

等离子体是不同于固体、液体和气体的物质第四态。物质由分子构成，分子由原子构成，原子由带正电的原子核和围绕它的、带负电的电子构成。当被加热到足够高的温度或其他原因，外层电子摆脱原子核的束缚成为自由电子，电子离开原子核，这个过程就叫做“电离”。这时，物质就变成了由带正电的原子核和带负电的电子组成的、一团均匀的“浆糊”，因此人们戏称它为离子浆，这些离子浆中正负电荷总量相等，因此它是近似电中性的，所以就叫等离子体。

➤等离子清洗方式：主要分为化学方式清洗和物理方式清洗，其中除了惰性气体（例如：AR）之外存在纯粹物理方式清洗，其余气体电离后的等离子清洗均为化学和物理双方式清洗。

➤等离子体中存在电子、离子和自由基等活性粒子，其本身很容易与固体表面发生反应。等离子体具有很高的电导率，与电磁场存在极强的耦合作用。

三、等离子清洗的特点

• 采用数控技术

• 自动化程度高

• 具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高

• 正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证

• 由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染

四、“欧泊”等离子清洗机介绍

1. 设备参数

   

   
   

   
   

2. 设备尺寸

   

   
   

3. 系统组成

   

   
   

4. 设备工作流程说明